電容位移傳感器是一種非接觸式位移測量傳感器，用于導體材料的位移、振動測量，量程從25um到10mm不等，精度在納米級別，常用于機床主軸振動、壓電材料振動位移測量電容位移傳感器。

　傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息，按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。傳感器一般由敏感元件、轉換元件、變換電路和輔助電源四部分組成在工業相機中，傳感器也起著非常重要的作用，它可以幫助相機更好的采圖并計算結果，一款相機的性能是否優秀往往要看相機所用到的傳感器是否性能出色。

　常見的有變截距型，便面積型，變介電常數型。但是用于位移測量的通常是采用變截距原理的。也就是用被測物體（需要具有導電性）作為電容的一個極板，用傳感器作為電容的另外一個極板。會影響這個電容電容值的因素就是距離，正對面積和間隙介質。如果想用電容傳感器測位移，就要確保后兩者不會變化。可以測量導體材料和非導體材料（測量非導體材料時，采用變介電常數原理）。絕對誤差可以達到0.1微米，分辨率達到0.0375納米。但是要求不能有油污和水等影響因素（恒定的油污和水也是可以補償的，不恒定的就會有問題），否則會影響電容的介電常數。

　可以采用電容式測量方法，可以在線檢測壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調，天文望遠鏡鏡片微調，精密微位移測.傳感器是一個單一的通道，高性能線性位移測量系統，創新的電容位移測量技術，提供了納米測量能力，成本低，適合測量任何導電目標。