1、線性度
電容傳感器通常在滿量程測量范圍(FSR)上具有0-10Vdc的輸出。在理想情況下，該輸出將是完全線性的，并且在任何點都不會偏離直線。然而，實際上與定義系統線性度的這條線會有輕微的偏差。通常，線性度指定為滿量程測量范圍的百分比。在校準期間，將放大器的輸出與高精度標準的輸出進行比較，并記錄差異。精度是線性度、分辨率、溫度穩定性和漂移的函數，其中線性度是主要因素。
2、穩定性
穩定性是多種不同的內部和外部因素的函數。對于短期或相對測量應用，穩定性通常不是問題。但是，如果在很長一段時間內需要高精度，則在設計夾具、選擇組件和指定結構材料時必須小心。
溫度通常是影響穩定性的最大因素。溫度波動不僅會導致電子漂移，還會導致夾具和探針膨脹和收縮。對于關鍵應用，使用專為穩定性設計的高質量電容器、電阻器和電感器，以最大限度地減少電子影響。為了最大限度地減少機械影響，探頭可以用特殊的低熱系數材料制造，例如因瓦合金，有源電容探頭系統不應用于高穩定性應用，因為傳感器周圍的任何局部溫度變化都會導致漂移。
3、校準
對于低端接近傳感器，校準通常并不重要，因為傳感器的線性度并不重要。根據設計，大多數高性能在本質上與滿量程測量范圍的大約+/-0.2%呈線性關系。一些電容制造商提供具有這種性能的傳感器，但是它們通常不適合高精度應用。通過在放大器電路中添加可調斷點線性化，可以獲得改進的性能。
在校準期間，記錄放大器的輸出與目標位置的關系。根據該數據生成最佳擬合直線。然后將每個記錄點與生成的直線進行比較，計算并繪制百分比偏差。根據結果，可以進行調整以將偏差改善到可接受的范圍內。
