1、流動路徑
壓力和質量氣流傳感器之間最明顯的區別在于是否存在氣流路徑。為了使質量流量傳感器正常工作，氣體必須能夠流過它。流路中的任何限制，例如污垢或液體，都會改變氣動阻力，從而改變輸出。相反，壓力傳感器是死胡同。
其管道系統中唯一的氣流是由氣體在壓力下壓縮或膨脹引起的少量氣流。如果堵塞足以幾乎完全阻塞管道，管道系統中的污垢或液體只會導致輸出差異。流路中最終到達質量氣流傳感器內表面的污染也可能影響到傳感元件的熱傳遞，從而再次影響輸出。
2、穩定性和分辨率
因為質量氣流傳感器是一種熱裝置，所以它在零流量（或零壓差）下比基于應力的壓力傳感器更穩定。但是，上述故障模式會影響傳感器輸出的斜率。壓力傳感器的故障模式都傾向于影響設備的零壓力偏移。壓力傳感器的斜率很少發生變化。
此外，質量氣流傳感器的傳感元件在低流量時將比高流量時具有更高的輸出。這意味著，即使輸出已被校正為線性信號，質量氣流傳感器在非常低流量時也將比在高流量時具有更好的分辨率。壓力傳感器的輸出在其工作范圍內自然幾乎是線性的，因此分辨率不會改變。與同等壓力傳感器相比，質量氣流傳感器在非常低的流量下具有更好的分辨率和穩定性。
3、抗污染
流路中的污染會以多種方式影響質量氣流傳感器的輸出。即使是傳感元件本身上非常薄的液體或污垢薄膜也會影響熱傳遞，并可能導致斜率誤差。除此之外，如果傳感器如前所示在旁路配置中使用，任何在管道路徑中產生額外阻力的東西都會影響測量。迫使相同數量的流量通過堵塞的管道需要額外的壓力，這將改變流量和壓力之間的關系。
相比之下，封閉式壓力傳感器的管道中幾乎沒有空氣流動。唯一的運動是必須流入或流出以產生壓力變化的少量空氣。嚴重堵塞的管子可能會在高頻應用中產生頻率響應問題；但是，傳感器的輸出將是正確的。通過使用壓力傳感器和可以創建一個幾乎無故障的系統并行的質量氣流傳感器進行相同的測量。
由于壓力傳感器中的大多數故障模式都會影響偏移量，而流量傳感器中的大多數模式都會影響斜率，因此這兩個設備不太可能同時以相同的方式發生故障。壓力傳感器的斜率將比質量氣流傳感器的斜率更穩定，并且不太可能受到污染的影響。
4、自動調零技術
自動調零是一種壓力傳感器校準技術，它基于在已知參考條件下對輸出進行采樣，以允許對輸出誤差進行額外的外部校正，包括偏移誤差、偏移熱效應（偏移偏移）和偏移漂移。
