DIU01為XYZ三軸手動(dòng)位移滑臺(tái)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌與千分尺進(jìn)給設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)超高精度三維空間定位。交叉滾柱導(dǎo)軌提供卓越的剛性和運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性，千分尺微調(diào)確保微米級(jí)（0.01mm/格）分辨率，適用于超精密光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、微納加工、半導(dǎo)體檢測(cè)等高端領(lǐng)域。

一、產(chǎn)品特點(diǎn)

1、三軸獨(dú)立控制：

·X/Y/Z軸均采用交叉滾柱導(dǎo)軌，摩擦小、無間隙，重復(fù)定位精度±0.003mm。

·千分尺進(jìn)給機(jī)構(gòu)，每格分辨率0.01mm，手感清晰，避免誤操作。

2、超高剛性結(jié)構(gòu)：

·交叉滾柱導(dǎo)軌抗傾覆能力極強(qiáng)，負(fù)載能力達(dá)10kg（單軸），動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性優(yōu)于線性滾珠導(dǎo)軌。

·整體鑄鐵基座，抗震性強(qiáng)，長期使用不變形。

3、模塊化擴(kuò)展：

·頂部與側(cè)面預(yù)留標(biāo)準(zhǔn)M6螺紋孔，兼容光學(xué)元件、顯微夾具等附件。

·可搭配旋轉(zhuǎn)臺(tái)或傾斜臺(tái)組成多自由度系統(tǒng)。

二、性能參數(shù)

三、對(duì)比競(jìng)品